10 min | 30 min | 60 min | 4 hr | 8 hr | |
---|---|---|---|---|---|
ppm ) | |||||
AEGL 1 | 0.90 | 0.90 | 0.90 | 0.90 | 0.90 |
AEGL 2 | 50 | 22 | 11 | 5.5 | 5.5 |
AEGL 3 | 310 | 110 | 50 | 13 | 13 |
- Chlorosilanes AEGL Technical Support Document (PDF)(87 pp, 574 K)
10 min | 30 min | 60 min | 4 hr | 8 hr | |
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ppm ) | |||||
AEGL 1 | 0.90 | 0.90 | 0.90 | 0.90 | 0.90 |
AEGL 2 | 50 | 22 | 11 | 5.5 | 5.5 |
AEGL 3 | 310 | 110 | 50 | 13 | 13 |